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            介紹全自動氦質譜檢漏儀的檢測原理
          1. 發布日期:2022-01-24      瀏覽次數:29
            •   全自動氦質譜檢漏儀(HeliumMassSpectrometerLeakDetector)是用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到僅對氦氣反應的工作狀態)的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
                氦質譜檢漏法是利用氦質譜檢漏儀的氦分壓力測量原理,實現被檢件的氦泄漏量測量。當被檢件密封面上存在漏孔時,示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出,泄漏出來的氣體進入氦質譜檢漏儀后,由于氦質譜檢漏儀的選擇性識別能力,僅給出氣體中的氦氣分壓力信號值。在獲得氦氣信號值的基礎上,通過標準漏孔比對的方法就可以獲得漏孔對氦泄漏量。
                根據檢漏過程中的示漏氣體存貯位置與被檢件的關系不同,可以將氦質譜檢漏法分為真空法、正壓法、真空壓力法和背壓法,下面分別總結了這四種氦質譜檢漏法的檢測原理、優缺點及檢測的標準。
                真空法氦質譜檢漏
                采用真空法檢漏時,需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空,采用氦罩或噴吹的方法在被檢產品外表面施氦氣,當被檢產品表面有漏孔時,氦氣就會通過漏孔進入被檢產品內部,再進入氦質譜檢漏儀,從而實現被檢產品泄漏量測量。按照施漏氣體方法的不同,又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產品外表面噴吹氦氣,可以實現漏孔的精確定位;真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來,在罩內充滿一定濃度的氦氣,可以實現被檢產品總漏率的測量。
                真空法的優點是檢測靈敏度高,可以精確定位,能實現大容器或復雜結構產品的檢漏。
                真空法的缺點是只能實現一個大氣壓差的漏率檢測,不能準確反映帶壓被檢產品的真實泄漏狀態。
                真空法的檢測標準主要有QJ3123-2000《氦質譜真空檢漏方法》、GB/T15823-2009《氦泄漏檢驗》,主要應用于真空密封性能要求,但不帶壓工作的產品,如空間活動部件、液氫槽車、環境模擬設備等。
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